第376章 极紫外光刻机

苏扬看了半秒刘元龙，道：“这些设备，的确是最新的半导体核心设备，尤其是光刻机。”

说着，指着光刻机道：“这台光刻机里面的激光器、光束矫正器、能量控制器、光束形状设置、遮光器、能量探测器、掩模版都...